（zx20120626）由于儀器調試的需要，我們選用精密減壓閥和可調速微型泵組成了供氣裝置?，F將各部分介紹如下。
普通減壓閥不能滿足提供穩定氣源壓力的要求，我們選用的精密減壓閥輸出壓力的波動可以小于zui大輸出壓力的1%。精密減壓閥具有很高的調壓精度是由于其特殊的結構和制造精度。精密減壓閥由三部分組成：起直動減壓閥作用的主閥部分、起放大作用的包括固定阻尼孔和噴嘴-擋板元件的整個控制半橋、控制半橋進口壓力穩定器。它比內部先導型減壓閥增加了穩定控制半橋進口壓力的裝置。當輸入的氣源壓力上升時，控制半橋進口壓力穩定器內部的氣室壓力上升，會使膜片上移，穩定閥口的開度減小，導致節流作用增加，使氣室壓力回降而保持不變，實現控制半橋進口壓力的穩定，控制主閥膜片和閥芯上的平衡力，使輸出壓力更加穩定。
在氣泵的選擇上，經過比較我們選擇了市場上的“氣海”fay微型可調速泵。fay可調速泵已經使用一年多時間，性能穩定，噪聲也小，好于曾經用過的國產泵?？烧{速泵配置進口無刷電機，杜絕了以前配置的有刷電機的高壓雜波，解決了泵對控制電路的干擾問題。自帶pwm（脈寬調制）線，能方便可靠地調節流量，能量效率高，克服了原來有刷電機降壓調速的缺點。能輸出電機轉速信號，實現了對泵工況的實時監控，發生問題能及時報警，使用更加安全。該泵屬于體積泵，結構特點決定了流量具有一定波動性，咨詢廠家后安裝了大小合適的緩沖罐。精密減壓閥和可調速微型泵的組合使流量和壓力*達到了平穩的要求。